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電容式傳感器的設計要點
發(fā)布日期:2013-03-26 11:09:41瀏覽量:895來源:長陸智造

電容式傳感器的高靈敏度、高精度等獨特的優(yōu)點是與其正確設計、選材以及精細的加工工藝分不開的。在設計傳感器的過程中,在所要求的量程、溫度和壓力等范圍內(nèi).應盡量使它具有高精度、高分辨力、低成本、穩(wěn)定可靠和高的頻率響應等。設計時可以從下面幾個方面子以考慮:

    (1)減小環(huán)境溫度、濕度等變化所產(chǎn)生的影響,保證絕緣材料的絕緣性能。

    ①必須從選材、結構、加工工藝等方面減小溫度等誤差并保證絕緣材料具有高絕線性能.傳感器的金屬電極的材料宜選用溫度系數(shù)低的鐵鎳合金,但這種合金加工較難;也可采用在陶瓷或石英上噴鍍金或銀的工藝,這樣電極可以做得極薄,對減小邊緣效應極為有利。

    ②傳感器內(nèi)的電極表面不便經(jīng)常清洗,應加以密封,用以防塵、防潮。若在電極表面鍍以極薄的倍性金屬(如錢等)層,則可代替密封件起保護作用,可防塵、防濕、防腐蝕,并在高溫下可減少表面損耗、降低溫度系數(shù).但成本較高。

    ③目前有采用厚膜絲網(wǎng)印刷新工藝將電容電極掩膜圖形轉移到陶瓷蓋板和彈性膜片上而構成非充液空氣介質的雙電容傳感器,可減小因溫度引起的測量誤差。

    ④傳感器內(nèi)電極的支架要有一定的機械強度和穩(wěn)定的性能。

    ⑤盡量采用空氣或云母等介電常數(shù)的溫度系數(shù)幾乎為零的電介質(也不受濕度變化的影響)作為電容式傳感器的電介質。

    ⑥在可能的情況下,盡量采用差動對稱結構,再通過某些類型的測量電路(如電橋)來減小溫度等誤差。

    ⑦盡量選用高的電源頻率,一般為50khz至幾兆赫,以降低對傳感器絕緣部分的要求。

    ⑧傳感器內(nèi)所有的零件應先進行清洗、烘干后再裝配。傳感器要密封以防止水分侵入內(nèi)部而引起電容值變化和絕緣性質下降。傳感器的完體剛性要好,以免安裝時變形。

    (2)消除和減小邊緣效應。適當減小極間距.使電極直徑或邊長與間距比較大,可減小邊緣效應的影響,但易產(chǎn)生擊穿并有可能限制測量范圍。電極應做得極薄,使之與極間距相比很小,這樣也可減小邊緣電場的影響。為減小極板厚度,往往不用整塊金屬扳作極板,而是在石英、陶瓷等非金屬材料上蒸鍍一薄層金屬,使極板有效厚度減小,以減小邊緣效應。此外,可在結構上增設等位保護環(huán)來消除邊緣效應。

    應該指出,邊緣效應所引起的非線性與變極距型電容式傳感器原理上的非線性恰好相反,因此在一定程度上起到了補償作用,但傳感器靈敏度同時下降。

    (3)減小和消除寄生電容的影響。寄生電容可能比電容傳感器的電容大幾倍到幾十倍,嚴重影響傳感器的輸出特性和靈敏度,甚至會淹沒傳感器的有用信號,使傳感器無法正常使用。因此,減小或消除寄生電容的影響.是電容式傳感器實用化的關鍵。具體可采用如下方法:

    ①增加傳感器原始電容值。采用減4報片或極筒間的間距,增加工作面積或工作長度來增加原始電容值。

    ②注意傳感器的接地和屏蔽。