壓阻式稱重傳感器的應用
發布日期:2012-12-11 16:24:37瀏覽量:949來源:長陸智造
壓阻式傳感器具有下列優點;體積小、結構比較簡單,靈敏度高(比金屬應變汁高50倍~80倍),能測量十幾微帕的微壓,動態響應好,長期穩定性好。滯后和蠕變小,頻率響應高,便于生產,成本低,因此、它仔測量壓力、壓差、液位物化、加速度和流量等方面得到廣泛應用:應用領域涉從電力、化工,石油、機械、鋼鐵、城市供熱、供水等行業。
1、壓力測量
當硅膜片兩邊存在壓力差時,膜片上各點就有應力;四個擴散電阻的阻值就發生變化,使電橋失去平衡,輸出相應的電壓。這樣,由測得不平衡電橋的輸出電壓就可得到膜片所翌的壓力差。
近年來,隨著科學技術的木斷發展,出現了一些“特種”壓力測量技術。
1)動態及高頻動態壓力測量技術
所謂動態壓力.一般指變化相對較快的壓力,習慣性把變化頻率大于1000Hz的壓力稱為動態壓力。為不失真地測量動態壓力,一般要求測量傳感器有(5-10)KHz以廣的固有頻率。應變式傳感器因其同有頻率較低而不宜用于動態壓力測量:傳統的測量動態壓力的方法是采用壓電式壓力傳感器,它有較高的固合頻率,一般可達(100-400KHz)的動態壓力測量,壓電式壓力傳感器輸出的微弱電荷信號須經專門的電荷放大器處理變換為心壓或電流信號,也須經優良的問軸電纜傳輸;還很容易受干擾滋生噪聲,從而得到信噪比不太好的被測信號;壓電傳感器內阻抗很高,因而靜態特性很差。因此,近年來隨著壓阻壓力傳感器的技術進步,美國有關測量軍標已倡議高頻動態壓力測員,優先考慮選用壓阻式動態壓力傳感器;壓阻式壓力傳感器采用MIMs(微機電系統)技術設為與加工,因此具有極小的力學敏感元件尺寸與極高的剛度。岡力學敏感元件具有高至100.