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       1．半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)的結(jié)構(gòu)
      半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)的典型結(jié)構(gòu)，它是單晶錠按一定的晶軸方向切成薄片。對它進(jìn)行研磨加工，再經(jīng)過光刻腐蝕后切成細(xì)條、然后安裝內(nèi)引線，并粘接征貼有接頭的基底上，最后安裝外引線而成。敏感柵的形狀可制成直條形，也可制成U形成w形，敏感柵的長度一般為1mm~9mm。基底的作用足使應(yīng)變計(jì)容易安裝并增大粘貼面積，同時使柵體均試件絕緣，若要求用小面積的應(yīng)變計(jì)時，可用無基地的應(yīng)變計(jì)直接粘貼。
      2．?dāng)U散型壓阻傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理
      擴(kuò)散型壓阻傳感器的結(jié)構(gòu)它是由外殼、硅杯和引線等組成，其核心部份是一塊圓形的硅膜片。通常將膜片制作在硅相上形成一體結(jié)構(gòu)，以減小膜片與基座連接所帶來的性能變化。在膜片上利用集成電路工藝擴(kuò)散了四個阻值相等的電阻，并構(gòu)成電橋，這就是硅壓阻式力敏元件的壓阻芯片膜片的兩邊有兩個壓力腔，一個是和被測系統(tǒng)相連接的高壓腔。